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半導(dǎo)體制造中的壓縮氣體及其高壓擴(kuò)散器

2024-05-27 14:46:21 山東耀智信息科技有限公司 閱讀

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了解高壓擴(kuò)散器

高壓擴(kuò)散器(HPD)對(duì)于保持壓縮氣體樣品中顆粒計(jì)數(shù)的精度至關(guān)重要。它們充當(dāng)顆粒計(jì)數(shù)器和壓縮氣體管線之間的紐帶,在氣體進(jìn)入顆粒計(jì)數(shù)器的樣品入口時(shí)使其擴(kuò)散。這確保了壓力得到控制,以防止對(duì)顆粒計(jì)數(shù)器樣品室的敏感內(nèi)部傳感器組件造成任何損壞。


高壓擴(kuò)散器的類型

HPD主要有兩種類型:排氣回流和排氣端口。排氣回流HPD將氣體釋放到環(huán)境中,而排氣端口 HPD則將氣體安全地排出測(cè)試區(qū)域外。這些類型之間的選擇取決于所采樣的氣體。排氣回流HPD適用于氧氣等無(wú)害氣體,而排氣回流和排氣端口 HPD通常用于易燃?xì)怏w等危險(xiǎn)氣體。


設(shè)置 HPD

正確安裝 HPD 對(duì)于準(zhǔn)確取樣至關(guān)重要。它涉及在壓縮氣體管路和粒子計(jì)數(shù)器之間牢固地連接 HPD,確保緊密的配件和正確的氣流方向。任何泄漏或不正確的配件都可能損害取樣過程的完整性。


微調(diào)流速

需要注意的另一件重要事情是,您需要達(dá)到正確的流速以確保您的采樣結(jié)果。將粒子計(jì)數(shù)器的流速與HPD相匹配,確保等動(dòng)力學(xué)采樣,氣流保持恒定。可能需要根據(jù)進(jìn)氣壓力進(jìn)行調(diào)整,參考表格作為指導(dǎo)可以幫助優(yōu)化流速以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確采樣。


測(cè)試氣體在半導(dǎo)體制造中

的重要性

在半導(dǎo)體制造中,精度至上,每個(gè)元素都起著至關(guān)重要的作用。壓縮氣體是該行業(yè)的無(wú)名英雄之一,它默默地促進(jìn)了使集成電路 (IC) 栩栩如生的復(fù)雜過程。


讓我們深入研究它們不可

或缺的應(yīng)用:

沉積工藝:硅烷、氨氣和摻雜劑氣體可實(shí)現(xiàn)化學(xué)和物理氣相沉積,形成對(duì) IC 制造至關(guān)重要的薄半導(dǎo)體層。

蝕刻:SF6 和 NF3 等氣體通過等離子體和反應(yīng)離子蝕刻在晶圓上蝕刻復(fù)雜的圖案,精確地去除不需要的材料。

摻雜:二硼烷、磷化氫和砷化氫等摻雜氣體會(huì)改變半導(dǎo)體材料的電性能,從而產(chǎn)生關(guān)鍵的 p 型或 n 型區(qū)域。

吹掃和清潔:高純度氮?dú)夂蜌鍤獯祾呤遥煞乐刮廴静⒋_保一致、無(wú)污染的條件。

冷卻和溫度控制:某些氣體在制造過程中調(diào)節(jié)溫度,防止熱應(yīng)力引起的缺陷。

氣氛控制:惰性氣體可穩(wěn)定制造環(huán)境,保持工藝完整性并防止不必要的反應(yīng)。

離子注入氬氣和三氟化硼等氣體有助于離子注入,從而精確地改變底物特性。

光刻支持:壓縮氣體可保持清潔、穩(wěn)定的環(huán)境,并有助于氣動(dòng)系統(tǒng),這對(duì)于光刻過程中的精確機(jī)械運(yùn)動(dòng)至關(guān)重要。

在半導(dǎo)體制造的復(fù)雜舞蹈中,壓縮氣體是無(wú)聲的編排者,精確地編排每一步——它們的特殊用途需要嚴(yán)格控制純度和條件,以滿足 ISO 8573 的嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn),使其成為當(dāng)今現(xiàn)代 IC 創(chuàng)建不可或缺的一部分。


結(jié)論

高壓擴(kuò)散器乍一看似乎很復(fù)雜,但了解它們的重要性和正確使用對(duì)于準(zhǔn)確的顆粒計(jì)數(shù)至關(guān)重要。通過選擇合適的 HPD 類型、正確設(shè)置并微調(diào)流速,您將能夠輕松確保氣體采樣工作中獲得可靠和精確的結(jié)果。


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