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半導體制造中的壓縮氣體及其高壓擴散器

2024-05-27 14:46:21 山東耀智信息科技有限公司 閱讀

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了解高壓擴散器

高壓擴散器(HPD)對于保持壓縮氣體樣品中顆粒計數(shù)的精度至關重要。它們充當顆粒計數(shù)器和壓縮氣體管線之間的紐帶,在氣體進入顆粒計數(shù)器的樣品入口時使其擴散。這確保了壓力得到控制,以防止對顆粒計數(shù)器樣品室的敏感內部傳感器組件造成任何損壞。


高壓擴散器的類型

HPD主要有兩種類型:排氣回流和排氣端口。排氣回流HPD將氣體釋放到環(huán)境中,而排氣端口 HPD則將氣體安全地排出測試區(qū)域外。這些類型之間的選擇取決于所采樣的氣體。排氣回流HPD適用于氧氣等無害氣體,而排氣回流和排氣端口 HPD通常用于易燃氣體等危險氣體。


設置 HPD

正確安裝 HPD 對于準確取樣至關重要。它涉及在壓縮氣體管路和粒子計數(shù)器之間牢固地連接 HPD,確保緊密的配件和正確的氣流方向。任何泄漏或不正確的配件都可能損害取樣過程的完整性。


微調流速

需要注意的另一件重要事情是,您需要達到正確的流速以確保您的采樣結果。將粒子計數(shù)器的流速與HPD相匹配,確保等動力學采樣,氣流保持恒定??赡苄枰鶕?jù)進氣壓力進行調整,參考表格作為指導可以幫助優(yōu)化流速以實現(xiàn)準確采樣。


測試氣體在半導體制造中

的重要性

在半導體制造中,精度至上,每個元素都起著至關重要的作用。壓縮氣體是該行業(yè)的無名英雄之一,它默默地促進了使集成電路 (IC) 栩栩如生的復雜過程。


讓我們深入研究它們不可

或缺的應用:

沉積工藝:硅烷、氨氣和摻雜劑氣體可實現(xiàn)化學和物理氣相沉積,形成對 IC 制造至關重要的薄半導體層。

蝕刻:SF6 和 NF3 等氣體通過等離子體和反應離子蝕刻在晶圓上蝕刻復雜的圖案,精確地去除不需要的材料。

摻雜:二硼烷、磷化氫和砷化氫等摻雜氣體會改變半導體材料的電性能,從而產生關鍵的 p 型或 n 型區(qū)域。

吹掃和清潔:高純度氮氣和氬氣吹掃室,可防止污染并確保一致、無污染的條件。

冷卻和溫度控制:某些氣體在制造過程中調節(jié)溫度,防止熱應力引起的缺陷。

氣氛控制:惰性氣體可穩(wěn)定制造環(huán)境,保持工藝完整性并防止不必要的反應。

離子注入氬氣和三氟化硼等氣體有助于離子注入,從而精確地改變底物特性。

光刻支持:壓縮氣體可保持清潔、穩(wěn)定的環(huán)境,并有助于氣動系統(tǒng),這對于光刻過程中的精確機械運動至關重要。

在半導體制造的復雜舞蹈中,壓縮氣體是無聲的編排者,精確地編排每一步——它們的特殊用途需要嚴格控制純度和條件,以滿足 ISO 8573 的嚴格標準,使其成為當今現(xiàn)代 IC 創(chuàng)建不可或缺的一部分。


結論

高壓擴散器乍一看似乎很復雜,但了解它們的重要性和正確使用對于準確的顆粒計數(shù)至關重要。通過選擇合適的 HPD 類型、正確設置并微調流速,您將能夠輕松確保氣體采樣工作中獲得可靠和精確的結果。


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